OSAKA/大阪真空 精密仪器
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OSAKA/大阪真空 精密仪器
OSAKA/大阪真空 精密仪器

大阪真空 OSAKA TG5003 涡轮分子泵（化学耐蚀型，油润滑滚珠轴承，超大流量旗舰款）

一、核心参数（源自大阪真空）

二、核心耐蚀特性（区别 TG5000 洁净型）

1. 全流道强防腐

   转子、叶片、泵腔采用耐蚀合金 + 专用防腐涂层，搭配抗腐蚀专用润滑油，耐受半导体主流强腐蚀工艺气体，杜绝腐蚀、油劣化、转子卡死与腔体污染。

2. 超大抽速 + 高负载

   5000L/s（TG 系列峰值）、1200sccm 最大负载，满足超大型腔体、高流量连续排气，覆盖 12/18 寸晶圆、G10 + 面板、光伏量产线、加速器等超大系统需求。

3. 抗大气冲击 + 耐用结构

   强化轴承支撑与转子动平衡，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停、24/7 高负载运行，抗冲击能力显著提升，适配恶劣量产 / 科研工况。

4. TC5503 智能控制

   支持RS232C / 以太网远程监控，实时监测转速、温度、背压、油位、腐蚀浓度；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速、腐蚀多级报警 + 自动停机保护，支持远程启停与参数设定。

三、TG5003 与同系列型号核心对比

四、前级泵 & 使用维护要点

1. 前级泵强制要求：必须配3000L/min 以上干式螺杆泵，背压需稳定＜200Pa；小流量前级会触发背压报警、降速、轴承加速磨损与转子卡死，严禁使用 1500L/min 以下前级。

2. 冷却：水冷必须常开，进水温度≤30℃、流量充足，防止高温导致润滑油劣化、轴承失效与泵体变形。

3. 维护规范：每 3000–5000 小时更换专用耐蚀润滑油；定期检查油质、泵腔腐蚀与密封件状态。

4. 法兰与安装：优先VG450/ISO-F500（超大口径、高真空密封、耐腐蚀）；严格垂直安装，倾斜≤±10°。

五、典型应用场景

• 半导体：12/18 寸晶圆刻蚀、清洗、ALD/CVD、离子注入超大腔体腐蚀 / 洁净排气。

• 面板 / 光伏：G10+ OLED/LCD、超大太阳能电池量产线。

• 科研 / 大科学装置：加速器、核聚变、真空冶金、大型离子源 / 电子枪。

• 工业：超大型真空镀膜、表面改性、热处理。

六、选型核心提醒

• 通强腐蚀气体 → 必须选TG5003（3 后缀），严禁用 TG5000 洁净型。

• 需要5000L/s 级大抽速 + 超大负载 → TG5003 是选择。