Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器
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Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

大阪真空 OSAKA TG5500 / TG5503 涡轮分子泵（油润滑滚珠轴承，全球顶级 5500L/s 超大抽速旗舰）

一、核心参数（TG5500 洁净 / TG5503 耐蚀）

二、核心特性（TG5503 耐蚀专属，区别 TG5500）

1. 全流道强耐蚀设计（TG5503）

   转子、叶片、泵腔内壁耐蚀合金 + 专用防腐涂层，专用抗腐蚀润滑油，耐受Cl₂、F₂、HF、HCl、NH₃、SiH₄、BCl₃等半导体强腐蚀工艺气体，杜绝腐蚀、油变质、转子卡死、腔体污染；TG5500 仅适用于洁净无腐蚀工况株式会社大阪真空机器制作所。

2. 全球顶级超大抽速 + 高负载

   5500L/s（TG 系列峰值、全球同类型分子泵顶级抽速）、1200sccm 最大负载，满足超大型腔体、高流量连续排气，适配 12/18 寸晶圆、G10 + 面板、光伏量产线、加速器等超大真空系统。

3. 抗大气冲击 + 高耐用结构

   强化轴承支撑、转子动平衡、壳体，耐受突发破真空、大气冲入、频繁启停、高负载 24/7 运行，比普通分子泵抗冲击能力提升 50%+，适配恶劣量产 / 科研工况株式会社大阪真空机器制作所。

4. TC5503 智能控制器

   支持RS232C / 以太网远程监控，实时监测转速、温度、背压、油位、腐蚀浓度；集成过载、过热、背压过高、低油位、过速、腐蚀多级报警 + 自动停机保护，支持远程启停与参数设定株式会社大阪真空机器制作所。

三、TG5503 vs TG5003 vs TG3413 核心对比

四、前级泵 & 使用维护要点

1. 前级泵要求：推荐3000L/min 干式螺杆泵（背压稳定＜200Pa）；最小 1500L/min，小流量会触发背压报警、降速、轴承加速磨损株式会社大阪真空机器制作所。

2. 冷却：水冷必须常开，进水温度≤30℃、流量充足，防止高温导致润滑油劣化、轴承失效、泵体变形。

3. 维护规范：

• TG5500（洁净）：每 6000–8000 小时换标准润滑油

• TG5503（耐蚀）：每 3000–5000 小时更换专用耐蚀润滑油，定期检查油质、泵腔腐蚀、密封件

4. 法兰与安装：优先VG500/ISO-F500（超大口径、高真空密封、耐腐蚀）；严格垂直安装，倾斜≤±10°株式会社大阪真空机器制作所。

五、典型应用场景

• 半导体：12/18 寸晶圆刻蚀、清洗、ALD/CVD、离子注入超大腔体腐蚀 / 洁净排气

• 面板 / 光伏：G10+ OLED/LCD、超大太阳能电池量产线

• 科研 / 大科学装置：加速器、核聚变、真空冶金、大型离子源 / 电子枪

• 工业：超大型真空镀膜、表面改性、热处理

六、选型核心提醒

• 通强腐蚀气体 → 必须选TG5503（3 后缀），严禁用 TG5500 洁净型

• 需要5500L/s 全球顶级抽速 + 超大负载 → TG5500/TG5503 是选择