Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器
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Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

Osaka Vacuum （大阪真空）精密仪器

大阪真空 OSAKA FR060D 风冷多级罗茨干式真空泵（前级干泵，专为 TMP / 涡轮分子泵配套、小型真空系统设计）株式会社大阪真空机器制作所

一、核心参数（完整）

二、核心特性（区别普通旋片 / 螺杆泵）

1. 空冷免维护、无油洁净

   纯风冷、无需外接水冷，安装 / 运维成本极低；真空侧无油，杜绝油蒸气污染高真空腔体（适配 TG 系列分子泵前级），轴承 / 齿轮少量润滑且密封隔离。

2. 大气压直排 + 高水蒸气耐受

   可直接从大气压启动、连续运转，500g/hr 水蒸气处理能力，适合带水汽、溶剂的工艺（干燥、清洗、镀膜），气镇模式稳定防返油、防凝结。

3. 抽速稳定、排气快

   从大气压到极限真空全程保持高抽速，比同流量旋片泵排气时间缩短 30%+，适合频繁破真空、负载锁室、快速循环工况。

4. 低振动、低噪音、长寿命

   多级罗茨结构、动平衡优化，振动小、噪音低；无油污染、磨损小，维护周期长（换油周期≥6000 小时）。

三、典型配套与应用场景

✅ 最佳配套（你常用的 TG 系列分子泵）

• 前级泵：FR060D 匹配 TG3213 / TG3413 / TG5003 / TG5503（小 / 中型涡轮分子泵前级，背压稳定＜200Pa，满足 TG 系列背压要求）

• 替代：替代油旋片泵（如 D-65C），解决油污染、频繁换油、维护麻烦问题

✅ 核心应用

• 高真空系统：TG 系列涡轮分子泵前级泵（半导体、面板、光伏、科研）

• 负载锁 / 传输室：频繁大气引入、快速抽气、循环排气

• 小型设备：分析仪器、质谱、电子枪 / 离子源、真空夹具、小型镀膜 / 溅射、真空炉、干燥、封装

• 实验室：小型真空系统、快速排气、洁净无油工况

四、选型 & 维护要点

1. 选型边界：FR060D 适合 **≤3400L/s 分子泵前级 **；TG5003/TG5503（5000/5500L/s）建议配 **≥1500L/min 干泵（如 FR110D）**，避免背压过高报警株式会社大阪真空机器制作所

2. 维护：每6000 小时更换专用润滑油（90mL）；定期清理风冷散热片、检查气镇阀、轴封

3. 气镇使用：抽含水汽 / 溶剂气体时必须开气镇，防止泵内凝结、损坏转子

五、同系列对比（FR 系列）