Osaka Vacuum （大阪真空） 精密仪器
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
热门爆款

Osaka Vacuum （大阪真空） 精密仪器

Osaka Vacuum （大阪真空） 精密仪器

大阪真空 OSAKA ER100D 节能多级罗茨干式真空泵（水冷型，中流量 TMP 前级干泵，ER 系列旗舰节能款）

一、核心参数（ER100D 洁净 / ER100DC 耐蚀）

二、核心特性（区别 FR060D / 普通干泵）

1. 节能 + 小型轻量化（核心优势）

   极限真空下仅400W 功耗（比同流量干泵省电 50%+）；重量仅60kg、占地 0.11㎡，安装空间小、运维成本低，适合空间紧凑的半导体 / 面板产线、实验室。

2. 无油洁净 + 高水蒸气耐受

   真空侧无油，杜绝油蒸气污染高真空腔体（适配 TG 分子泵）；气镇模式可处理500g/hr 水蒸气，适配带水汽 / 溶剂的干燥、清洗、镀膜工艺。

3. ER100DC 耐蚀专属（3 后缀）

   转子 / 泵腔采用耐蚀合金 + 防腐涂层、专用抗腐蚀润滑油，耐受Cl₂、HCl、NH₃、SiH₄等轻腐蚀工艺气体，避免泵体腐蚀、油变质、转子卡死；ER100D 仅限洁净无腐蚀工况。

4. 稳定背压 + 快速排气

   抽速稳定、背压可控（≤200Pa，满足 TG5003/TG5503 前级要求）；从大气压到极限真空全程高抽速，缩短腔体排气时间 30%+，适配频繁破真空、循环排气的负载锁 / 传输腔。

三、与 FR060D 核心对比（你常用前级泵）

四、最佳配套与应用场景

✅ 匹配 TG 系列分子泵（核心用途）

• 前级泵：ER100D 适配 TG3413 (3400L/s)、TG5003 (5000L/s)、TG5503 (5500L/s)，背压稳定＜200Pa，满足所有 TG 型号背压上限要求，比 FR060D 更适合大抽速 TMP

• 替代：替代 FR110D（同流量更节能、更轻）、油旋片泵（无油洁净、免频繁换油）

✅ 典型应用

• 高真空系统：TG 涡轮分子泵前级（半导体刻蚀 / CVD、面板、光伏、科研）

• 负载锁 / 传输室：频繁大气引入、快速循环排气、轻腐蚀工艺

• 小型设备：溅射、离子注入、电子枪 / 离子源、真空炉、分析仪器、小型镀膜

• 节能产线：对功耗、占地、重量敏感的洁净 / 轻腐蚀量产线

五、选型 & 维护要点

1. 选型边界：

• 洁净工况、有冷却水、要节能 + 1670L/min 抽速 → 选ER100D

• 通轻腐蚀气体 → 必须选ER100DC，严禁用 ER100D

• 无水源 → 选 FR060D/FR110D 风冷款

2. 冷却强制要求：水冷必须常开，进水≤30℃、流量 1.5–3L/min，防止高温导致润滑油劣化、轴承失效、泵体变形

3. 维护规范：

• ER100D（洁净）：每6000 小时换 80mL 专用润滑油

• ER100DC（耐蚀）：每3000 小时换耐蚀油，定期检查油质、泵腔腐蚀、密封件

4. 气镇使用：抽含水汽 / 溶剂气体时必须开气镇，防止泵内凝结、转子卡死

六、选型总结

• 要1670L/min、节能、轻量、适配 TG5003/TG5503 前级 → ER100D是解

• 轻腐蚀工艺 → 选ER100DC