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Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
  • 产品型号：TG70F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-04-17
  • 访  问  量：140
简要描述：

Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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联系电话：18825222238

产品详情

Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵

OSAKA 大阪真空 TG70F（70~75 L/s 复合涡轮分子泵，任意安装、高洁净、耐冲击）

核心定位：N₂抽速 70 (ISO-R)/75 (CF) L/s、极限 < 1×10⁻⁷ Pa，内置 / 外置双控制器、风冷、耐大气冲击，专为半导体、FPD、质谱、电子束等大流量洁净高真空场景，适配莱宝 VARODRY 干泵前级株式会社大阪真空机器制作所

一、核心性能参数（N₂ 标准，）

项目参数值关键说明
型号TG70F（内置 TC75） / TG70F-20（外置 TC76）一体集成 / 分体远程两种配置
抽速（N₂）ISO-R：70 L/s（带网 65）；CF：75 L/s（带网 70）CF 法兰抽速更高、极限更好
H₂抽速ISO-R：40 L/s；CF：45 L/s氢气抽排能力显著优于 TG50F/TG60F
极限真空ISO-R：<5×10⁻⁷ Pa；CF：<1×10⁻⁷ Pa超高洁净真空，满足先进制程
最大压缩比N₂：1×10⁸；H₂：1×10⁵氮气超高压缩、氢气高效防返流
最大气体流量自然风冷：15 sccm；强制风冷：25 sccm大流量工况建议加强散热
启动 / 停机启动：2 min；停机：20–30 min（带 VENT 快速降速）快速启停，适配自动化产线
允许前级压力最大：800 Pa；推荐：<10 Pa需前级干泵预抽，保证寿命
进气法兰ISO-R63 / CF63标准高真空接口，兼容主流腔体
排气口KF16通用前级泵连接口
冷却方式风冷（内置风扇）免水冷、安装灵活、无漏水风险
安装姿态任意角度（水平 / 垂直 / 倒置 / 倾斜）空间集成无限制，设备布局自由
轴承 / 润滑油脂润滑球轴承，无油、零返油、洁净免维护周期 20,000 + 小时
控制器TG70F：TC75（内置 DC24V，120W）；TG70F-20：TC76（外置 AC100–230V，160VA）支持远程 I/O、RS232、报警、转速控制
重量ISO-R：4.2 kg；CF：5.8 kg轻量化，便于设备集成
防护 / 认证IP54；TG70F-20 符合 NRTL/SEMI-S2/CE工业洁净车间、实验室适用

二、核心优势

  1. 超高洁净 + 大流量：复合涡轮结构 + 无油轴承，零碳氢污染、零返油，N₂抽速 75 L/s，比 TG60F 提升 25%，适合大腔体快速抽气株式会社大阪真空机器制作所

  2. 任意安装 + 耐冲击：全姿态稳定运行，耐受大气冲击 / 压力波动，抗震动、抗移动，适配移动设备、机器人、旋转腔体

  3. 高可靠 + 低维护：轴承寿命长、风冷免维护、连续 24/7 运行，维护周期 2 万 + 小时，降低停机成本

  4. 集成灵活：内置 / 外置双控制器可选，双电压兼容，接线 / 调试简单，支持远程自动化控制

三、典型应用场景

  • 半导体 / 微电子：晶圆制程、离子注入、电子束蒸发、ALD/CVD、真空检测

  • 显示面板：FPD/OLED、量子点、触控面板镀膜、真空烘烤

  • 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、表面分析、真空检漏、加速器

  • 工业真空：光学镀膜、电子枪排气、LED / 灯具制造、精密热处理

  • 科研：核聚变、材料研究、超高真空实验装置

四、选型与配套要点

  • 前级泵匹配：推荐莱宝 VARODRY VD65/VD100 干式螺杆泵（抽速≥30 L/min），确保前级压力稳定 < 10 Pa，避免过载

  • 版本选择：标准 TG70F（洁净通用）；TG70F-M（耐化学腐蚀，适配腐蚀性 / 活性气体）

  • 环境要求：运行温度 8–38℃，最佳 10–23℃；保证极限真空需控制环境洁净度

五、TG70F vs TG60F vs TG50F 快速对比

项目TG50FTG60FTG70F核心差异
N₂抽速51 L/s60 L/s75 L/s (CF)流量逐级提升，大腔体更高效
H₂抽速12 L/s22 L/s45 L/s氢气抽排能力大幅增强
极限真空 (CF)<3×10⁻⁶ Pa<1×10⁻⁶ Pa<1×10⁻⁷ Pa真空等级提升一个量级
控制器TC64TC65/TC66TC75/TC76功率 / 控制能力升级
重量 (CF)6.5 kg5.4 kg5.8 kg轻量化平衡


























































































































































































































































































































































































































































































































































































































































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