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Osaka Vacuum（大阪真空） 涡轮分子泵
  • 产品型号：TG240F
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-04-17
  • 访  问  量：113
简要描述：

Osaka Vacuum（大阪真空） 涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
热门爆款

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联系电话：18825222238

产品详情

Osaka Vacuum（大阪真空） 涡轮分子泵
Osaka Vacuum（大阪真空） 涡轮分子泵

OSAKA 大阪真空 TG240F（240 L/s 复合涡轮分子泵，任意安装、内置控制器、大流量高真空）

核心定位：N₂抽速 240 L/s、极限 < 5×10⁻⁷ Pa，内置 TC240 控制器、风冷、耐大气冲击，适配半导体大腔体、FPD、加速器、质谱等大流量超高真空场景，匹配莱宝 VARODRY 干泵前级

一、核心性能参数（N₂ 标准，）

项目参数值关键说明
型号TG240F（内置 TC240） / TG240F-40（外置 TC241）一体集成 / 分体远程两种配置
抽速（N₂）240 L/s；带防护网 230 L/s；H₂ 160 L/s大流量，氢气抽排能力
极限真空ISO-R100：<1×10⁻⁶ Pa；CF100：<5×10⁻⁷ Pa超高洁净真空，满足先进制程
最大压缩比N₂：1×10⁸；H₂：4×10⁴氮气超高压缩、氢气高效防返流
最大气体流量自然风冷：70 sccm；强制风冷：100 sccm大流量工况建议增强散热
启动 / 停机启动：5.5–6 min；停机：30–40 min（带 VENT 快速降速）大抽速泵启停时间合理
允许前级压力最大：700 Pa；推荐：<10 Pa需前级干泵稳定预抽，保障寿命
进气法兰ISO-R100 / CF100大口径高真空接口，适配大腔体
排气口KF25标准前级泵连接口
冷却方式风冷（内置强力风扇）免水冷、安装灵活、无漏水风险
安装姿态任意角度（水平 / 垂直 / 倒置 / 倾斜）空间集成无限制，设备布局自由
轴承 / 润滑油脂润滑球轴承，无油、零返油、洁净免维护周期 20,000 + 小时
控制器TG240F：TC240（内置 DC24V）；TG240F-40：TC241（外置 AC100–230V）支持 RS232、远程 I/O、报警、转速控制
重量ISO-R：12 kg；CF：14 kg轻量化大抽速泵，便于集成
防护 / 认证IP54；符合 NRTL/SEMI-S2/CE工业洁净车间、实验室、产线适用

二、核心优势

  1. 大流量 + 超高洁净：复合涡轮结构 + 无油轴承，零碳氢污染、零返油，N₂抽速 240 L/s，比 TG70F 提升 220%，适合大腔体快速抽气、高流量工艺

  2. 任意安装 + 耐冲击：全姿态稳定运行，耐受大气冲击 / 压力波动，抗震动、抗移动，适配移动设备、旋转腔体、加速器等特殊场景

  3. 高可靠 + 低维护：轴承寿命长、风冷免维护、连续 24/7 运行，维护周期 2 万 + 小时，大幅降低停机与运维成本

  4. 集成便捷：内置 / 外置双控制器可选，双电压兼容，接线 / 调试简单，支持远程自动化控制与产线联动

三、典型应用场景

  • 半导体 / 微电子：大尺寸晶圆制程、ALD/CVD、离子注入、电子束蒸发、真空检测

  • 显示面板：大尺寸 FPD/OLED、量子点、触控面板镀膜、真空烘烤

  • 分析仪器：大型质谱仪、电子显微镜、表面分析、真空检漏、加速器

  • 工业真空：光学镀膜、电子枪排气、LED / 灯具制造、精密热处理

  • 科研：核聚变、材料研究、超高真空实验装置、辐射设施

四、选型与配套要点

  • 前级泵匹配：推荐莱宝 VARODRY VD100/VD160 干式螺杆泵（抽速≥80 L/min），确保前级压力稳定 < 10 Pa，避免过载、保证极限真空

  • 版本选择：标准 TG240F（洁净通用）；TG240F-M（耐化学腐蚀，适配腐蚀性 / 活性气体）

  • 环境要求：运行温度 8–38℃，最佳 10–23℃；保证极限真空需控制环境洁净度

五、TG240F vs TG70F 快速对比

项目TG70FTG240F核心差异
N₂抽速75 L/s (CF)240 L/s流量提升 220%，大腔体效率倍增
H₂抽速45 L/s160 L/s氢气抽排能力提升 255%
极限真空 (CF)<1×10⁻⁷ Pa<5×10⁻⁷ Pa同级别超高真空
进气法兰CF63CF100大口径，适配更大腔体
重量5.8 kg14 kg大抽速带来的重量合理增加




















































































































































































































































































































































































































































































































































































































































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