Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
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Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum（大阪真空）涡轮分子泵

OSAKA 大阪真空 TG350F（350 L/s 复合涡轮分子泵，任意安装、风冷、耐大气冲击、大流量超高真空）

一、核心性能参数（N₂ 标准，）

二、核心优势

1. 超大流量 + 超快速启停：N₂抽速 350 L/s，比 TG240F 提升 46%；启动仅 2.5min、停机 6.5min，大幅提升产线 / 实验效率，解决大泵启停慢痛点株式会社大阪真空机器制作所

2. 任意安装 + 耐冲击：全姿态稳定运行，耐受大气冲击 / 压力骤变，抗震动、抗移动，适配加速器、旋转腔体、核聚变装置等场景

3. 高可靠 + 低维护：无油轴承、风冷免维护、连续 24/7 运行，2 万小时免维护，降低停机与运维成本

4. 集成极简：内置控制器，无需额外机柜，接线 / 调试一步到位，支持远程自动化与产线联动

三、典型应用场景

• 半导体 / 微电子：大尺寸晶圆（12 寸 +）ALD/CVD、离子注入、电子束蒸发、真空检测、刻蚀

• 显示面板：大尺寸 FPD/OLED、量子点、触控面板镀膜、真空烘烤

• 分析 / 科研：大型质谱仪、电子显微镜、表面分析、加速器、核聚变、辐射设施、超高真空实验

• 工业真空：光学镀膜、电子枪排气、LED / 灯具制造、精密热处理、真空钎焊

四、选型与配套要点

• 前级泵匹配（核心）：推荐莱宝 VARODRY VD160/VD200 干式螺杆泵（抽速≥160 L/min），确保前级压力稳定 < 10 Pa，达到 500 sccm 最大流量、保证极限真空

• 版本选择：标准 TG350F（洁净通用）；TG350F-M（耐化学腐蚀，适配 H₂、NH₃、SiH₄等腐蚀性 / 活性气体）

• 环境要求：运行温度 8–38℃，最佳 10–23℃；保证极限真空需控制环境洁净度、避免粉尘

五、TG350F vs TG240F 快速对比