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Osaka Vacuum(大阪真空)涡轮分子泵
  • 产品型号:TG800F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-04-17
  • 访  问  量:98
简要描述:

Osaka Vacuum(大阪真空)涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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产品详情

Osaka Vacuum(大阪真空)涡轮分子泵
Osaka Vacuum(大阪真空)涡轮分子泵

TG800F是日本大阪真空(OSAKA VACUUM)TG-F 系列的大流量涡轮分子泵,主打任意方向安装耐大气冲击快速启停,适用于半导体、FPD、科研等超高真空场景株式会社大阪真空机器制作所

核心参数(速览)

项目参数值说明
抽速 (N₂)820 L/s标称值;带防护网为 750 L/s株式会社大阪真空机器制作所
抽速 (H₂)650 L/s氢气抽速,体现低抽气能力株式会社大阪真空机器制作所
极限真空<1×10⁻⁶ Pa超高真空级别株式会社大阪真空机器制作所
压缩比N₂: 1×10⁸;H₂: 1×10⁴高压缩比,利于获得极限真空株式会社大阪真空机器制作所
入口法兰VG150 / ISO-B160 / CF160标准兼容,适配多种腔体
启动时间5.5–7 min较旧款更快,缩短待机株式会社大阪真空机器制作所
停止时间12–15 min快速停机,提升稼动率
冷却方式水冷水温 10–35°C
通信RS232C工业控制兼容
安全认证NRTL / SEMI-S2 / CE符合半导体规范

关键特性

  • 任意方向安装:TG-F 系列特性,适配移动 / 振动场景,管道设计更灵活。

  • 耐大气冲击:抗突然泄压 / 进气,适合频繁启停与漏率波动环境。

  • 快速启停:启动 / 停机时间显著缩短,提升产线效率株式会社大阪真空机器制作所

  • 长寿命与耐用:设计寿命超 10 万小时,维护成本低。

  • 宽应用:半导体制造、FPD、电子枪 / 离子源、表面处理、加速器、科研装置等株式会社大阪真空机器制作所

与同系列型号对比(简表)

型号抽速 (N₂)定位
TG450F450 L/s中流量,通用型
TG800F820 L/s高流量,半导体 / FPD 主力
TG1100F1100 L/s超大流量,大型产线

选型提示

  • 气体种类:若含腐蚀性气体,建议选用TG-M/TG 系列(化学兼容型)株式会社大阪真空机器制作所

  • 安装环境:对振动 / 移动安装有要求时,优先确认任意方向安装与抗振特性。

  • 接口与冷却:提前匹配入口法兰(VG150/ISO-B160/CF160)与水冷条件(10–35°C)。

































































































































































































































































































































































































































































































































































































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