Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
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Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵

TG1100F（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数（标准）

二、核心特性（TG‑F 系列专属）

1. 任意方向安装：不受角度限制，可垂直 / 水平 / 倒置安装，适配移动 / 振动 / 复杂管路场景，安装自由度拉满株式会社大阪真空机器制作所。

2. 耐大气冲击：强化转子与轴承结构，可承受突然进气 / 泄压冲击，适合频繁启停、漏率波动的工艺环境（如半导体腔体开关、维修）。

3. 快速启停 + 高可靠性：启动快、停机安全，设计寿命 > 10 万小时，维护周期长，适合 24/7 连续生产。

4. 宽工艺兼容：支持氮气、氩气、氢气等常规气体；腐蚀性气体需选 TG‑M/TG 化学兼容系列株式会社大阪真空机器制作所。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：FV=VG200；FB=ISO‑B200；FC=CF200

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 示例：

• TG1100FBWB：ISO‑B200 法兰 + 水冷

• TG1100FCAB：CF200 法兰 + 风冷

• TG1100FVWB：VG200 法兰 + 水冷

四、同系列对比（TG450F / TG800F / TG1100F）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：推荐抽速≥250 L/min 的干泵 / 罗茨泵，保证背压 < 330 Pa株式会社大阪真空机器制作所。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃），散热更好、更稳定；风冷适合无水源场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 1000 L/s），防止颗粒损伤转子株式会社大阪真空机器制作所。