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| 项目 | 参数 | 说明 |
|---|---|---|
| 抽速 (N₂) | 1400 L/s（带防护网 1300 L/s） | 氮气标称抽速，TG‑F 系列次顶流型号 |
| 抽速 (H₂) | 750 L/s | 氢气抽速，小分子气体抽气能力强 |
| 极限真空 | <1×10⁻⁶ Pa（<7.5×10⁻⁹ Torr） | 超高真空级别 |
| 压缩比 | N₂: 1×10⁸；H₂: 4.3×10³ | 高压缩比，极限真空稳定 |
| 入口法兰 | VG200 / ISO‑B200 / CF200 | DN200 标准，适配大型腔体株式会社大阪真空机器制作所 |
| 排气口 | KF40 (NW40) | 前级泵通用接口 |
| 最大背压 | 330 Pa (2.5 Torr) | 耐冲击，允许前级压力上限 |
| 最大流量 (N₂) | 450 sccm | 工艺气体负载能力 |
| 转速 | 33,600 rpm | 高速转子，保障大抽速 |
| 启动时间 | 5.5–7 min | 快速达到额定转速，缩短待机 |
| 停止时间 | 25–30 min | 安全停机，保护轴承 |
| 冷却方式 | 水冷 (W) / 风冷 (A) | 型号后缀区分：WB = 水冷，AB = 风冷 |
| 重量 | 31 kg (CF) / 32 kg (VG/ISO‑B) | 紧凑结构，安装灵活 |
| 控制器 | TC1103 / TC1104A | 标配 RS232C，支持远程控制 / 监控 |
| 认证 | NRTL / SEMI‑S2 / CE | 半导体产线合规株式会社大阪真空机器制作所 |
任意方向安装：垂直 / 水平 / 倒置均可，不受角度限制，适配振动、移动、复杂管路场景，安装自由度拉满株式会社大阪真空机器制作所。
耐大气冲击：强化转子与轴承结构，可承受突然进气 / 泄压冲击，适合频繁启停、漏率波动的工艺环境（如腔体开关、维修）株式会社大阪真空机器制作所。
快速启停 + 高可靠性：启动快、停机安全，设计寿命 > 10 万小时，维护周期长，适合 24/7 连续生产株式会社大阪真空机器制作所。
节能紧凑：同抽速下体积更小、功耗更低，适配空间有限的大型产线 / 设备株式会社大阪真空机器制作所。
通信与安全：RS232C 远程控制，过流 / 过热 / 过速保护，符合半导体安全规范株式会社大阪真空机器制作所。
法兰：FV=VG200；FB=ISO‑B200；FC=CF200
冷却：A= 风冷；W= 水冷
完整型号示例：
TG1400FBWB：ISO‑B200 法兰 + 水冷
TG1400FCAB：CF200 法兰 + 风冷
TG1400FVWB：VG200 法兰 + 水冷
| 型号 | N₂抽速 (L/s) | 入口法兰 | 定位 |
|---|---|---|---|
| TG450F | 450 | VG100/ISO100/CF100 | 中流量，通用型 |
| TG800F | 820 | VG150/ISO160/CF160 | 高流量，半导体主力 |
| TG1100F | 1100 | VG200/ISO200/CF200 | 超大流量，大型腔体 |
| TG1400F | 1400 | VG200/ISO200/CF200 | DN200 旗舰，超大流量产线 |
前级泵：推荐抽速≥300 L/min 的干泵 / 罗茨泵，保证背压稳定 < 330 Pa。
冷却：水冷优先（水温 10–35℃），散热更好、连续运行更稳定；风冷适合无水源场景。
防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 1300 L/s），防止颗粒损伤转子。
腐蚀性气体：需选用TG‑M/TG 化学兼容系列，不可直接用 TG‑F株式会社大阪真空机器制作所。
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