Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
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Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵

TG2400F（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数（标准）

二、核心特性（TG‑F 系列专属）

1. 任意方向安装：垂直 / 水平 / 倒置均可，不受角度限制，适配振动、移动、复杂管路场景，安装自由度拉满。

2. 耐大气冲击：强化转子与轴承结构，可承受频繁突然进气 / 泄压冲击，适合腔体频繁开关、维修、漏率波动的严苛工艺环境。

3. 快速启停 + 超长寿命：启动快、停机安全，设计寿命 > 10 万小时，维护周期长，适合 24/7 连续生产。

4. 超大流量 + 高负载：2400L/s 抽速 + 1500sccm 最大流量，满足半导体刻蚀、沉积、离子注入等高耗气工艺株式会社大阪真空机器制作所。

5. 通信与安全：RS232C 远程控制，过流 / 过热 / 过速保护，符合半导体安全规范。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：FV=VG250；FB=ISO‑B250；FC=CF250

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 完整型号示例：

• TG2400FBWB：ISO‑B250 法兰 + 水冷

• TG2400FCAB：CF250 法兰 + 风冷

• TG2400FVWB：VG250 法兰 + 水冷

四、同系列 TG‑F 旗舰对比（TG1100F / TG1400F / TG2400F）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：推荐抽速≥1000 L/min 的干泵 + 罗茨泵组，保证背压稳定 < 330 Pa，满足大流量需求。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃，≤30℃最佳），散热更强、连续运行更稳定；风冷适合无水源场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 2300 L/s），防止颗粒损伤转子。

• 腐蚀性气体：严禁直接使用 TG‑F，需选用TG‑M/TG 化学兼容系列。