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Osaka Vacuum (大阪真空) 涡轮分子泵
  • 产品型号:TG390M
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-04-17
  • 访  问  量:94
简要描述:

Osaka Vacuum (大阪真空) 涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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产品详情

Osaka Vacuum (大阪真空) 涡轮分子泵
Osaka Vacuum (大阪真空) 涡轮分子泵

TG390M(大阪真空 OSAKA VACUUM)

TG390M 是 TG‑M 系列 DN100 法兰磁悬浮(5 轴主动磁轴承)复合涡轮分子泵,N₂抽速 340 L/s,主打无油、零振动、任意安装、耐大气冲击、快速启停,适配半导体 / 电子枪 / 离子源 / 超高真空洁净场景

一、核心参数(标准)

项目参数说明
抽速 (N₂)340 L/s(带防护网 320 L/s)氮气标称抽速,DN100 磁悬浮主力型号
抽速 (H₂)290 L/s氢气 / 小分子抽气能力强
极限真空<1×10⁻⁷ Pa(<7.5×10⁻¹⁰ Torr)超高洁净真空,无油污染
压缩比N₂: 1×10⁸;H₂: 4.5×10³高压缩比,极限稳定
入口法兰VG100 / ISO‑B100 / CF100DN100 标准,通用洁净腔体
排气口KF25 (NW25)前级泵小口径接口
最大背压400 Pa (3 Torr)耐冲击,前级压力上限
最大流量 (N₂)2000 sccm高负载工艺气体能力
转速42,000 rpm磁悬浮高速转子,无摩擦
启动时间2–3 min极快达到额定转速
停止时间4–5 min安全停机,磁轴承保护
冷却方式水冷 (W) / 风冷 (A)后缀区分:WB = 水冷,AB = 风冷
重量14 kg紧凑轻量化
轴承5 轴主动磁悬浮(无油、无接触)零振动、零磨损、超长寿命
控制器TC010MA标配 RS232C,远程监控 / 控制
认证NRTL / SEMI‑S2 / CE半导体产线合规

二、核心特性(TG‑M 磁悬浮专属)

  1. 5 轴主动磁悬浮,无油:无机械轴承、无润滑脂,零油污染、零振动、零摩擦,寿命 > 10 万小时,维护周期极长,适合超高洁净 / 高要求工艺。

  2. 任意方向安装:垂直 / 水平 / 倒置均可,不受角度限制,适配复杂管路、振动、移动设备场景。

  3. 耐大气冲击:磁轴承 + 强化转子,可承受突然进气 / 泄压冲击,适合频繁启停、腔体开关、漏率波动环境。

  4. 快速启停 + 高稳定性:启动 2–3 min、停机 4–5 min,断电时磁轴承仍保持悬浮保护转子,可靠性拉满。

  5. 高负载 + 节能:2000 sccm 大流量,功耗低,适配 24/7 连续生产。

  6. 智能控制:TC010MA 控制器,RS232C 通信,过流 / 过热 / 过速 / 失磁保护,支持远程启停与状态监控。


三、型号后缀编码(选型必看)

  • 法兰:B=ISO‑B100;C=CF100;V=VG100

  • 冷却:A= 风冷;W= 水冷

  • 完整型号示例:

    • TG390MBWB:ISO‑B100 + 水冷

    • TG390MCAB:CF100 + 风冷

    • TG390MVWB:VG100 + 水冷


四、TG‑M 系列同规格对比(磁悬浮)

型号N₂抽速 (L/s)入口法兰定位
TG390M340DN100入门磁悬浮,洁净通用
TG420M400DN150中流量磁悬浮
TG900M900DN160高流量磁悬浮
TG1300M1300DN200超大流量磁悬浮
TG2400M2400DN250顶级流量磁悬浮

五、应用场景

半导体(刻蚀、沉积、离子注入)、电子枪 / 离子源排气、FPD/OLED、表面处理、分析仪器、光学 / 电子元器件、加速器 / 核聚变、科研超高真空、洁净热处理、无油真空系统。

六、选型 & 配套提示

  • 前级泵:推荐抽速≥160 L/min 的干泵,保证背压稳定 < 400 Pa。

  • 冷却:水冷优先(水温 10–35℃),散热更好、连续运行更稳;风冷适合无水源场景。

  • 防护:入口建议装金属防护网(抽速降至 320 L/s),防止颗粒损伤转子。

  • 腐蚀性气体:需选用TG‑MC(耐腐版),不可直接用标准 TG390M。




































































































































































































































































































































































































































































































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