Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
热门爆款

Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵

TG420M（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数（标准）

二、核心特性（TG‑M 磁悬浮专属）

1. 5 轴主动磁悬浮，无油：无机械轴承、无润滑脂，零油污染、零振动、零摩擦，适合对洁净度 / 振动要求的半导体、光学、分析仪器场景。

2. 任意方向安装：垂直 / 水平 / 倒置均可，不受角度限制，适配复杂管路、振动、移动设备场景。

3. 耐大气冲击：磁轴承 + 强化转子结构，可承受突然进气 / 泄压冲击，适合频繁启停、腔体开关、漏率波动的严苛工艺环境。

4. 快速启停 + 高稳定性：启动 2–3 min、停机 4–5 min，断电时磁轴承仍保持悬浮保护转子，可靠性拉满，支持 24/7 连续生产株式会社大阪真空机器制作所。

5. 高负载 + 节能：2000 sccm 大流量，功耗低，适配高耗气工艺（刻蚀、沉积、离子注入）株式会社大阪真空机器制作所。

6. 智能控制：TC010MA 控制器，RS232C 通信，过流 / 过热 / 过速 / 失磁保护，支持远程启停与状态监控。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：V=VG150；B=ISO‑B160；C=CF160

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 完整型号示例：

• TG420MBWB：ISO‑B160 + 水冷

• TG420MCAB：CF160 + 风冷

• TG420MVWB：VG150 + 水冷

四、TG‑M 系列同规格对比（磁悬浮）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：推荐抽速≥160 L/min 的干泵，保证背压稳定 < 400 Pa。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃，≤30℃最佳），散热更强、连续运行更稳定；风冷适合无水源场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 370 L/s），防止颗粒损伤转子株式会社大阪真空机器制作所。

• 腐蚀性气体：严禁直接使用标准 TG420M，需选用TG‑MC（耐腐版）。