Osaka Vacuum （大阪真空） 涡轮分子泵
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Osaka Vacuum （大阪真空） 涡轮分子泵
Osaka Vacuum （大阪真空） 涡轮分子泵

TG900M（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数（标准）

二、核心特性（TG‑M 磁悬浮专属）

1. 大流量 + 高负载：N₂抽速 900 L/s、最大流量 3000 sccm，适配刻蚀、PVD/CVD、FPD 面板等大腔体、高耗气工艺。

2. 5 轴主动磁悬浮，无油：零油污染、零振动、零摩擦，适合半导体、光学、分析仪器等洁净要求的场景。

3. 任意方向安装：垂直 / 水平 / 倒置均可，适配复杂安装、振动环境。

4. 耐大气冲击：磁轴承 + 强化转子，可承受突然进气 / 泄压冲击，适合频繁启停、腔体开关的严苛环境。

5. 快速启停 + 高可靠：启动 / 停机 4–5 min，断电时磁轴承持续悬浮保护转子，支持 24/7 连续生产。

6. 智能控制：TC010MA 控制器，RS232C 通信，具备过流 / 过热 / 过速 / 失磁保护，支持远程监控与控制。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：V=VG150；B=ISO‑B160；C=CF160

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 完整型号示例：

• TG900MBWB：ISO‑B160 + 水冷

• TG900MCAB：CF160 + 风冷

• TG900MVWB：VG150 + 水冷

四、TG‑M 系列同规格对比（磁悬浮）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：推荐抽速≥250 L/min 的干泵，保证背压稳定 < 500 Pa。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃），散热更好、连续运行更稳；风冷适合无水源场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 860 L/s），防止颗粒损伤转子。

• 腐蚀性气体：需选用TG‑MC（耐腐版），不可直接用标准 TG900M。