Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
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Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵
Osaka Vacuum （大阪真空）涡轮分子泵

TG1300M（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数（标准）

二、核心特性（TG‑M 磁悬浮专属）

1. 超大流量 + 高负载：N₂抽速 1300 L/s、最大流量 3000 sccm，专为超大腔体、高耗气工艺（刻蚀、PVD/CVD、面板制程）设计株式会社大阪真空机器制作所。

2. 5 轴主动磁悬浮，无油：无机械接触、零油污染、零振动，满足半导体、光学、分析仪器的超高洁净度要求；断电时磁轴承仍保持悬浮，保护转子不撞腔。

3. 任意方向安装：垂直、水平、倒置均可，适配复杂产线布局与振动环境，安装灵活度拉满株式会社大阪真空机器制作所。

4. 耐大气冲击：强化转子 + 磁轴承保护，可承受突然进气 / 泄压冲击，适应频繁启停、腔体开关的严苛工况株式会社大阪真空机器制作所。

5. 智能控制与高可靠：TC010 控制器带过流、过热、过速、失磁保护；RS232C 通信支持远程监控与自动化控制；支持 24/7 连续运行株式会社大阪真空机器制作所。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：V=VG200；B=ISO‑B200；C=CF200

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 完整型号示例：

• TG1300MBWB：ISO‑B200 + 水冷

• TG1300MCAB：CF200 + 风冷

• TG1300MVWB：VG200 + 水冷

四、TG‑M 系列同规格对比（磁悬浮）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：推荐抽速≥300 L/min 的干泵，确保背压稳定≤500 Pa，充分发挥大流量性能。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃，≤30℃最佳），散热更好、连续运行更稳；风冷适合无水源场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 1230 L/s），防止颗粒损伤转子。

• 腐蚀性气体：必须选用TG‑MC（耐腐涂层版），不可直接用标准 TG1300M。