Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装
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Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装

TG2400M（大阪真空 OSAKA VACUUM）

一、核心参数

二、核心特性（TG‑M 磁悬浮专属）

1. 顶级超大流量 + 高负载：N₂抽速 2400 L/s、最大流量 3000 sccm，专为巨型腔体、超高耗气工艺（先进制程刻蚀、大面板沉积、加速器）设计，是 TG‑M 系列流量天花板株式会社大阪真空机器制作所。

2. 5 轴主动磁悬浮，无油：无机械接触、零油污染、零振动；断电时磁轴承持续悬浮，转子不撞腔、保护设备；适合半导体、光学、电镜等洁净场景。

3. 任意方向安装：垂直、水平、倒置均可，适配复杂产线布局与振动环境，安装无限制。

4. 耐大气冲击：强化转子 + 磁轴承保护，可承受突然进气 / 泄压冲击，适应频繁开关腔体、启停的严苛工况。

5. 智能控制与高可靠：TC010MB 控制器集成过流、过热、过速、失磁保护；RS232C 通信支持远程监控、自动化控制；支持长期连续稳定运行株式会社大阪真空机器制作所。

6. 节能低噪：磁悬浮无摩擦损耗，功耗低、噪音小，适合洁净车间与科研环境。

三、型号后缀编码（选型必看）

• 法兰：B=ISO‑B250；V=VG250；C=CF250

• 冷却：A= 风冷；W= 水冷

• 完整型号示例：

• TG2400MBWB：ISO‑B250 + 水冷

• TG2400MCAB：CF250 + 风冷

• TG2400MVWB：VG250 + 水冷

• TG2400MCWB：CF250 + 水冷（超高洁净）

四、TG‑M 系列同规格对比（磁悬浮）

五、应用场景

六、选型 & 配套提示

• 前级泵：必须≥500 L/min 干泵，确保背压稳定≤200 Pa，充分释放 2400 L/s 性能；背压过高会大幅降速、降抽速、损伤泵体株式会社大阪真空机器制作所。

• 冷却：水冷优先（水温 10–35℃，≤30℃最佳），散热效率高、连续运行更稳；风冷仅适合无水源、间歇运行场景。

• 防护：入口建议装金属防护网（抽速降至 2300 L/s），防止颗粒 / 碎片损伤高速转子。

• 腐蚀性气体：必须选用TG2400MC（耐腐涂层版），标准 TG2400M 不可用于腐蚀气体工况。