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Osaka Vacuum (大阪真空) 精品原装
  • 产品型号:TGkine2200M
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-04-17
  • 访  问  量:95
简要描述:

Osaka Vacuum (大阪真空) 精品原装
可解决所有真空方案
可定制产品
部分型号大量现货
日本原装
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产品详情

Osaka Vacuum (大阪真空) 精品原装

Osaka Vacuum (大阪真空) 精品原装

大阪真空 OSAKA TGkine2200M

TGkine2200M 为大阪真空 新一代 TGkine 系列 五轴磁悬浮复合分子泵
替代传统 TG-F/TG-M 老款,高流量、低震动、耐大气冲击、紧凑型,半导体 / 镀膜 / 科研主力大泵

核心规格参数(正版)

项目参数
型号TGkine2200M
氮气标称抽速2200 L/s
带防护网抽速1950 L/s
转子转速33600 rpm
极限真空
允许最大前级背压200 Pa
进气法兰ISO-B250 / CF250 / VG250
排气口KF40(NW40)
轴承方式5 轴主动磁悬浮(无油)
冷却方式标准水冷 / 可选风冷
控制器专用 TGkine 系列驱动器
特色任意角度安装、抗大气冲击、低噪音、低振动

关键特点

  1. 磁悬浮无接触结构
    无油脂、无磨损、,适合超高真空、半导体、镀膜、锂电、科研洁净工艺。
  2. 大流量紧凑型设计
    2200L/s 级别大抽速,体积比旧款 TG2400M 更小巧、轻量化,机柜 / 设备集成更友好。
  3. 抗冲击 & 高背压耐受
    优化转子结构,腔体破真空、频繁启停、突发进气不易损坏,产线稳定性更强。
  4. 全姿态安装
    水平 / 垂直 / 倒置 / 倾斜任意安装,大型真空管道、复杂设备布局不受限。
  5. 低功耗、低发热、长寿命
    磁悬浮损耗低,24 小时连续运行稳定,维护周期极长。

适用工况

  • 半导体 / FPD 大腔体镀膜、刻蚀、沉积设备

  • 大型真空镀膜线、光学涂层、真空钎焊

  • 核聚变、加速器、同步辐射等科研装置

  • 大型高真空腔体、检漏系统、特种工业真空


同系列对标对照

  • TGkine 900M  :900 L/s

  • TGkine 1300M :1300 L/s

  • TGkine 2200M :2200 L/s(大腔体主力旗舰)


配套前级泵建议

必须搭配大流量干式前级机组
推荐:莱宝 VARODRY VD200 干泵 + 罗茨机组,保证前级压力稳定<200Pa。






































































































































































































































































































































































































































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