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| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | TGkine3300M |
| 氮气抽速(N₂) | 3300 L/s |
| 带防护网抽速 | 约 3036 L/s |
| 额定转速 | 33,600 rpm |
| 极限真空(CF 法兰) | < |
| 最大允许前级背压 | 200 Pa |
| 进气法兰 | ISO-B250 / CF250 / VG250 |
| 排气口 | KF40 (NW40) |
| 轴承系统 | 5 轴主动磁悬浮(全无油、无接触) |
| 冷却方式 | 水冷标配 / 风冷可选 |
| 安装方式 | 任意角度全姿态安装 |
| 核心优势 | 高气流负载、抗大气冲击、低振动、新一代转子设计 |
TGkine2200M :2200 L/s
TGkine3300M :3300 L/s(旗舰最大)
半导体 / FPD 超大腔沉积、刻蚀、离子注入
大型光学真空镀膜、卷绕镀膜设备
同步辐射、加速器、核聚变科研装置
工业高真空、真空热处理、特种超高真空系统