Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

OSAKA 大阪真空 TGkine3400M

产品定位

核心参数

核心优势

1. 全系最大量产抽速

   3400 L/s 超大风量，超大型腔体快速抽真空、高工艺气体负载适配，

   是真空系统大腔体升级。
2. 第三代磁悬浮技术

   无油、无磨损、无粉尘污染，

   满足半导体、ALD / 刻蚀、超高真空科研严苛洁净要求。
3. 强化抗冲击结构

   优化大尺寸转子力学设计，耐突发破真空、压力波动、频繁启停，

   适合工业 24h 连续量产。
4. 紧凑型大泵体

   相比传统 3000L/s + 级别分子泵，体积更紧凑、减重优化，

   管路布局、设备集成更灵活。
5. 低振动、低噪音

   磁悬浮无机械摩擦，震动抑制优秀，

   适配精密镀膜、电子束设备、检测仪器等高精密场景。

TGkine 大流量系列 横向速览

• TGkine 900M　：900 L/s

• TGkine 1300M ：1300 L/s

• TGkine 2200M ：2200 L/s

• TGkine 3300M ：3300 L/s

• TGkine 3400M ：3400 L/s（顶端旗舰）

前级真空配套要求

典型应用

• 超大尺寸 FPD / 半导体沉积、刻蚀、离子注入设备

• 大型卷绕镀膜、光学多层镀膜、真空冶金

• 同步辐射、加速器、核聚变、大型科研 UHV 装置

• 工业超大腔体高真空生产线、特种真空装备