Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空）精品原装

大阪真空 OSAKA 【TGkine3800M】

产品定位

核心参数

核心特点

1. 业界顶级超大抽速

   3800 L/s 同级流量天花板，超大型腔体快速降压，

   高流量工艺气体负载承载力。
2. 第三代磁悬浮技术

   无润滑脂、无机械摩擦、零微粒污染，

   严格满足半导体、UHV 超高真空、精密科研洁净规范。
3. 强化抗冲击转子设计

   耐受突发破真空、腔体频繁开关、压力波动，

   适合 24 小时连续量产、长时间稳定运行。
4. 低振动・低噪音

   磁悬浮悬浮控制优化，振动抑制，

   适配电子束、离子源、精密镀膜、检测设备。
5. 集成性强

   机身紧凑化设计，对比传统大流量分子泵占地更小，

   大型真空管路、设备改造布局灵活。

TGkine 全系列大流量完整梯队

• TGkine 900M　　｜900 L/s

• TGkine 1300M　｜1300 L/s

• TGkine 2200M　｜2200 L/s

• TGkine 3300M　｜3300 L/s

• TGkine 3400M　｜3400 L/s

• TGkine 3800M　｜3800 L/s（全系顶配旗舰）

前级配套选型（关键）

适用场景

• 半导体 / FPD 超大型腔沉积、刻蚀、离子注入

• 大面积光学镀膜、卷绕镀膜、真空冶金、热处理

• 同步辐射、加速器、核聚变、大型科研 UHV 装置

• 工业超大容积高真空系统、特种国防 / 科研真空设备