Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

Osaka Vacuum （大阪真空） 精品原装

OSAKA 大阪真空 TGkine4200M

定位

核心参数

核心优势

1. 行业抽速 4200 L/s

   全系最大流量，超巨型腔体极速建压，高工艺气体负载、大流量持续排气能力拉满。

2. 新一代磁悬浮架构

   全无油、零摩擦、零粉尘、无油脂返流，满足UHV 超高真空 + 半导体最高洁净等级。

3. 重型强化转子结构

   抗大气冲击、耐突然破真空、耐压力波动，可 24h 连续常年运行，重工 / 科研高可靠性。

4. 超低振动 & 低噪音

   磁悬浮精准悬浮控制，无机械共振，适配电子束、离子源、精密镀膜、精密检测设备。

5. 优化紧凑机身

   同级别 4000L/s + 泵中体积更合理，大型真空管路、集群设备安装布局友好。

TGkine 完整流量梯队（新版磁悬浮）

• TGkine 900M 　：900 L/s

• TGkine 1300M ：1300 L/s

• TGkine 2200M ：2200 L/s

• TGkine 3300M ：3300 L/s

• TGkine 3400M ：3400 L/s

• TGkine 3800M ：3800 L/s

• TGkine 4200M ：4200 L/s（天花板旗舰）

前级配套硬性要求

典型应用

• 核聚变、同步辐射、大型加速器、国家重点实验室 UHV 系统

• 超大面积 FPD / 半导体超大腔体沉积、刻蚀、离子注入

• 大型卷绕镀膜、真空冶金、真空热处理、重工真空产线

• 特种工业、国防科研、超大型超高真空成套设备